雾滴与尘粒径相近时，更易于相撞而捕捉住尘粒。微米级干雾正是应用这一原理产生5μm以下，与超细的粉尘粒径相近的雾滴来有效捕获粉尘的。

　　而由于雾滴微细，部分雾滴会在空气中迅速蒸发，使局部空间中的相对湿度迅速饱和，饱和后的水汽会以尘粒为核凝聚，使尘粒直径不断增大，直至落下。